这个步骤不复杂,只是将暴露的单晶硅腐蚀掉一层。
露出光刻后的凹槽。
然后注入离子,让单晶硅拥有晶体管开关的特性。
在用铜进行晶体管间的连接工作。
在芯片彻底产出之前,大家都不敢说话。
时间一分一秒过去,终于到了切割的步骤。
终于,晶圆被切割成了700片小的芯片。
陆晨这个时候立刻去开始查看数据。
随后他疲惫的脸露出了一抹轻松。
他看向自己的老师,对方已经明白了结果。
“我宣布,国产第一台极紫外光刻机,研制成功!”
声音徐徐落下,所有科研人员都猛地起身,发出了雷鸣一般的掌声!
甚至有的人激烈的拥抱在了一起!
“成功了!!!!价值十亿的光刻机啊!!!!”
“总算打破垄断了!!”
“现在,我们在议价方面底气十足!”
“……”
极紫外光刻机就是炒锅!
有了锅,就不怕做不出饭!
接下来,只要研究出5nm或者3nm的图纸,这台光刻机都可以进行生产!
陆晨松了口气,这次生产的是7nm芯片。
过几天,他就可以把5nm芯片的图纸拿出来了。
此时几位教授也老泪纵横。
他们没想到居然真的成功了!
看着在净室里指挥最后工作的陆晨,几个教授感慨了起来。
“小陆干的漂亮啊!”
“何院士,这下你可开心了吧,不得趁这次机会,好好让陆工提升一下职称?”
“就是,怎么说也是下了血本的,图纸都让给宝贝徒弟了。”
一听教授们这么说,何毅伟顿时回头:“什么图纸让给徒弟?”
张教授笑了笑道:“你就别装了,这光刻机的图纸不就是你做出来,让陆晨这孩子立功?”
几个教授相视一笑,他们也挺佩服何毅伟的,把这么大的荣誉让给自己学生。
这个项目到了以后进入商用,带来的分红可是非常惊人的!
旁边的工程师也都竖起了耳朵偷听。
何毅伟顿时皱起了眉头:“谁说这图纸是我画的?!”
“你们可太瞧得起我,要是能画出来这些图纸,我早就放到每年的学术报告会作秀了,还会等到现在?”
张教授眉头一跳:“你意思说,这图纸全都是陆晨这孩子做的?”
“那当然!我把那天晚的邮件发给你看看?”
这下所有人都看向了净室里的陆晨,眼中满是惊异。
既然是何毅伟亲自开口确定,那肯定是没错了!
可是陆晨这么年轻,就算是天才,也不可能对光刻机如此了解吧!
国外可是一直在强调,就算是把光刻机拆开给他们这帮专家仔细看,都不可能仿制的出来。
那么陆晨连国外都没有去过,怎么会凭空拿出来光刻机的图纸?
这岂不是说明陆晨的能力已经远在他们之!?
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